Нижегородские ученые защитили патентом способ очистки нанопорошка для микросхем
В Нижнем Новгороде авторы метода глубокой очистки нанопорошка для микроэлектроники получили патент. Разработка касается диоксида кремния. Об этом в Университете Лобачевского рассказали ТАСС.
Исследователи научно-исследовательской лаборатории инженерной химии НИИ химии вуза также разработали подход, который позволяет комплексно управлять характеристиками наночастиц. Можно задать их размеры и форму, получить высокую однородность и стабильность при небольшом количестве примесей. Без этих свойств материал нельзя использовать в производстве микросхем.
Практическую часть работы ученые довели до создания устойчивой суспензии: для ее получения разработали технологическую линию и регламент. Образец отправили индустриальному партнеру на апробацию.
Руководитель исследования, кандидат химических наук, научный сотрудник научно-исследовательской лаборатории инженерной химии Ксения Отвагина объяснила назначение изобретения. Оно позволяет очищать аморфный диоксид кремния для химико-механической полировки пластин из полупроводников. Еще одна область применения — процессы, в которых необходимы высокочистые абразивные наноматериалы.
По объяснению Отвагиной, от геометрии частиц и их однородности зависит, насколько качественно удастся обработать пластины. Это напрямую определяет надежность будущих устройств и их производительность. Возможность контролировать свойства российских материалов исследователь считает важной для развития отрасли и уменьшения зависимости от импорта.
Ректор ННГУ имени Н. И. Лобачевского Олег Трофимов отметил, что собственная компонентная база для микроэлектроники входит в число ключевых задач страны. Цель университета — доводить фундаментальные исследования до внедрения в серийное производство. Успешное увеличение масштаба процесса и начало этапа испытаний с индустриальным партнером, по оценке ректора, показывают правильность выбранного направления.
На фоне ограничений поставок стала критической потребность в российских аналогах зарубежных материалов с сопоставимыми характеристиками.
Источник: ТАСС